MEMS
可燃气½传感器
(型号:GM-402B)
½ 用 说 明 书
版本号:1.0
实½日期:2014.12.1
郑州炜盛电子科技有限公司
Zhengzhou Winsen Electronic Technology Co., Ltd
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郑州炜盛电子科技有限公司
MEMS
传感器系列
GM-402B
产品描述
MEMS
可燃气½传感器
MEMS
可燃气½传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制½微热
板,所½用的气敏材料是在清洁空气中电导率较½的金属氧化物
半导½材料。½传感器所处存在气½环境中时,传感器的电导率
随空气中被检测气½的浓度而发生改变。该气½的浓度越高,传
感器的电导率就越高。½用简单的电路即可将电导率的变化½换
为与该气½浓度相对应的输出信号。
特点
MEMS工艺、结构坚固
½功耗
高灵敏度
快速的响应恢复特性
简单的驱动电路
检测气½种类
甲烷(CH
4
)
1 – 10000ppm
:
丙烷(C
3
H
8
):1-5000ppm
主要应用
适用于手机、电脑等消费类电子产品应用检测燃气泄漏;也适用于用于家庭、商业用所的可燃气½泄漏
监测装½、气½检漏仪、防火/安全探测系统。
灵敏度特性
RS/R0
100
灵敏度曲线
10
CH4
C3H8
1
1
10
100
1000
10000
(ppm)
技 术
以诚为本、信守承诺
指标
创造完美、服务社会
MEMS
传感器系列
气敏元件特性
传感器电阻
气½(CH
4
)检测浓度
灵敏度
符号
R
0
F
S
S
50
标准值
-
-
-
最小值
100
1
1.2
最大值
1500
10000
50
单½
KΩ
ppm
-
注:1.
R
0
是在环境温度23
±
5℃,环境湿度50
±
10%RH的标准工½条件下测得;
2. S
50
即
Rs(3000ppm
CH
4
)/R
0
(in air)
是在环境温度23
±
5℃,环境湿度50
±
10%RH的条件下,传感器在
3000ppm
CH
4
气氛中的电阻值与传感器在洁净空气中的电阻值的比值。
条件
最大加热功率
回路电压
相对湿度范围
工½环境温度
储存温度范围
储存湿度范围
符号
P
H
V
S
RH
Ta
T
S
RH
参数范围
80
4.9 – 5.1
5 – 95
-30 – 85
-40 – 120
5 - 95
单½
mW
V
%RH
°C
°C
%RH
名称
加热功率
加热电压
加热电流
加热电阻
传感器结构示意图
符号
P
H
V
H
I
H
R
H
标准值
70
2.8
23
77
最小值
60
-
-
70
最大值
80
-
-
87
单½
mW
V
mA
Ω
以诚为本、信守承诺
创造完美、服务社会
MEMS
传感器系列
引脚
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
连接
RH1
RH2
RS1
RS2
推荐电路
½用说明:
1.预热时间
传感器需要时间达到内部的化学平衡所以需要一定的预热时间。一般来说,传感器在比较高的温度下会更
快的达到平衡,所以可以在最初开机的几十秒,可以给传感器更高的电压来预热。总的来讲,预热时间越
长则传感器精度越½。
2.传感器标定
对于绝对浓度测量,很多因素会½响到传感器的精度如传感器之间的基准电阻差异,灵敏度差异,温度,
湿度,干扰气½,老化时间等,因此需要定期标定。对于相对测量则不需要标定。因为传感器的特性曲线
是非线性的,所以推荐在全量程内进行多点标定并考虑温度和湿度的½响。½标定数据得到后,可以利用
以诚为本、信守承诺
创造完美、服务社会