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ZS-LDC11

器件型号:ZS-LDC11
器件类别:机电产品    工业自动化   
厂商名称:OMRON
厂商官网:https://www.omron.com
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器件描述

Controllers ZS Controller NPN Output

参数

产品属性属性值
产品种类:
Product Category:
Controllers
制造商:
Manufacturer:
Omron
RoHS:YES
商标:
Brand:
Omron Automation and Safety
系列:
Series:
ZS-L
工厂包装数量:
Factory Pack Quantity:
1

ZS-LDC11器件文档内容

2D CMOS Laser Type

High-precision Displacement Measurement Sensors Bringing Smart Sensors into New Fields.
                               ZS-HL Series                                                       More    P.6

                               Very High-performance Sensors that Support Core Quality                                              Highly Advanced Sensing Fu

                               from Very Long-range to Extremely Precise Measurements

                               Range of models with measuring center distance of 20 to 1,500 mm.

                               Achieves maximum resolution of 0.25 µm.

                               Maximum response speed of 110 µs.

                               Parallel output supported.

                                           ZS-HLDS150

1500

    Measuring center distance                                                                             See                              Record                                                    Control

                                                                                                                                           Data Storage Unit ZS-DSU ZS-DSU                           Multi-Controller ZS-MDC

                                                           ZS-HLDS60                                                                       Ideal for ZS Series Data Logging                          Enables full application of Sensor

                                                                                                                                                                                                     Controller information.

                                                                                                                                           Enables onsite high-speed logging of data in external

                                                                                                                                           memory (compact flash card) for the Sensor Controller or  Transfers data between multi-connected Sensor

                                                                                                                                           Multi-Controller.                                         Controllers and performs high-speed

                                                                                                                                           Effective for building traceability systems, statistical  multiprocessing.

    600                                                                     ZS-HLDS10                                                      process control (SPC), and much more.                     Connects to up to nine Sensor Controllers.

                                                                                                                                           High-speed sampling rate: 150 µs

                                                                                    ZS-HLDS5T                            ZS-LD10GT/LD15GT  Powerful support for logging data using various

                                                                                                                                           trigger functions.

                                                                                                  ZS-HLDS2T  ZS-HLDS2VT                                                      More           P.18                       More               P.17

    100

                                                                                                                         15±0.75mm

                                                                                                               25±2mm    10±0.5mm

    50                                                                                            20±1mm

                                                                            50±5mm

    20                                                            100±20mm

    15                                     600±350mm

    10                         1500±500mm

02
                                                                                                                                              Smart                                 Sensor

                                                                                                                                                                         Advanced technology is carried

nctions             in               a  Compact Package                                                                                                                                                                             High-performance Sensors

                                                                            Business card size                               ZS-L Series                                                            More       P.14

                                                                            +XX-XX-XXX-XXX  +XX-XX-XXX-XXX                   Standard Sensors Most Suitable for a Variety of High-precision

                                                                                                                             Displacement Measurements, Including Spot Detection,

                                                                                                            USB              Wide-range Detection, and Long-distance Detection.                                                     Standard Sensors

                                                                                                                             Beam Shapes

                                                                                                                             Spot and line beam selection.

                                                                                                                             Wide Range of Products

                                                                                                                             Long-range, middle-range, and short-range models.

                                                                                                                             Measuring                                                                                              Expansion Units

                                                                                                                             center distance         Diffuse Reflective Sensors

                                                                                                                                                                                                               ZS-LDC

Manipulate                                                         Monitor                                                                         ZS-LD350S                                        Regular

                                                                                                                                        350                                                         Reflective Sensors

Sensor Controllers ZS-HLDC/LDC                                     SmartMonitor                                                                                                                                                     Ratings and Specifications

Enable maximum sensing performance with fully digital              Professional ZS-SW11E V3

processing.                                                        Setting Software for the ZS Series

                                                                                                                                        200                   ZS-LD200

Culmination of OMRON's lead-edge digital technology. Enables easy

utilization of the ultimate in measurement performance.            Meets a wide range of logging needs.

Business card size                                                 Supports high-speed simultaneous multichannel waveform

USB provided as a standard feature.                                graphs.

                                                                   Excel macros provided for simple analysis.                           130

                                                                                                                                                                         ZS-LD130

                                        More             P.12                                                    More  P.19             80                               ZS-LD80

                                                                                                                                        50

                                                                                                                                        40                                          ZS-LD50/LD50S

                                                                                                                                        20

                                                                                                                                                                                                    ZS-LD40T

                                                                                                                                        Spot beam                                                              ZS-LD20T/LD20ST

                                                                                                                                                   Line beam

                                                                                                                                                              Line beam

                                                                                                                                                                         Line beam

                                                                                                                                                                                    Line/spot beam

                                                                                                                                                                                                    Line beam

                                                                                                                                                                                                               Line/spot beam

                                                                                                                                                                                                                                03
    Main Applications

    High Performance  Very High-performance Sensors that Support Core Quality from Very Long-range                                                                                 to

    ZS-HL Series      Extremely Precise Measurements

                  ZS-LD10GT/LD15GT                  ZS-HLDS2T                 ZS-HLDS2VT                ZS-HLDS5T              ZS-HLDS10                     ZS-HLDS60             ZS-HLDS150

                  Sealer coating   Glass substrate

                  Ideal for measuring               Ideal for measuring       Ideal for measuring       Ideal for measuring    Ideal for confirming          Ideal for level       Protruding objects and

                  and controlling                   the thickness of sili-    the potting resin height  liquid gasket (FPIG)   positioning and               detection for liquid  steps can be measured

                  dispenser nozzle gaps             cone or compound          for electronic            application amounts.   repeatability accuracy        crystal coaters and   from a distance for

                  when applying sealer.             semiconductor wafers      components.               Prevents defects such  of XY stages.                 PDP fluorescent       measurement objects

                                                    in polishing and testing                            as insufficient seal.                                substances.           that cannot be

                                                    processes.                                                                                                                     accessed easily.

    Standard      Standard Sensors Ideal for a Variety of High-precision Displacement Measurements,

    ZS-L Series   Including Spot Detection, Wide-range Detection, and Long-distance Detection

                  ZS-LD20ST                         ZS-LD40T                   ZS-LD50/LD80             ZS-LD200                                ZS-LD350S

                      3D shape measurement using

                      automatic X-Y stage

                  Ideal for measurements            Ideal for measuring glass  Ideal for measuring the  Ideal for checking the                  Ideal for checking the

                  requiring discrimination          thickness and nozzle       warp of resin blades in  precision of door                       flatness of robot arms

                  between minute parts or           gaps when coating glass    copy machine toners.     installations.                          that transport wafers in

                  fine shape repeatability.         with resist or sealer.                                                                      load ports.

04
                                                                                                                                         Smart Sensor

                                                                                                                                                                           Advanced technology is carried

Applications by Industry

Automobile and Automotive Parts                                                                         Electronic Components

Measuring Car Bodies           Measuring Door Attachment Offsets  Measuring Tire Exteriors              Inspecting Board Heights         Inspecting for Board Coplanarity  Measuring Shape for

                                                                                                                                                                           Positioning Laminated Ceramics

                                                                                                                                                                                                      1 axis scan

                                                                                                                                                                                                      Capacitor

                                                                                                                                                                                                      PCB

                                                                                                                                                                           SmartMonitor graph screen

                                                                                                                                                                                                      Spot beam

                                                                                                                                                                                                      Line beam

Semiconductors                                                                                          Household Appliances and Audio-visual

Measuring Electrode Thickness  Measuring Wafer Warping            Measuring Arm Inclination             Simultaneous Measuring of Touch  DVD Chassis Flatness Inspections  Digital Camera Tube Lens Inspection

on Compound Semiconductors     and Thickness                                                            Panel Film Thickness and Gap

LCDs and PDPs                                                                                           Rubber, Resin, and Film

Measuring Glass Undulation     Measuring Glass Surfaces           Inspecting Glass Heights (Autofocus)  Measuring Electrode              Moving Workpieces (Black Rubber)  Measuring Depth of O-Ring Insertion

                                                                                                        Thickness on Dielectrics

                                                                                                                                                                                                                   05
                              High-performance Sensors

                              High  grade

                              ZS-HL Series Product Lineup 2D CMOS High-end Displacement Sensors

High-performance Sensors      Advanced sensing technology packed into the best Sensor Head for the highest sensing precision

                                                                                         Wide lineup of products from 0.25 µm high-resolution models

                                                                                                                       to 1,500 mm long-range models.

                                    Model                ZS-HLDS150      ZS-HLDS60       ZS-HLDS10       ZS-HLDS5T     ZS-HLDS2T     ZS-HLDS2VT      ZS-LD10GT/LD15GT

                              Measuring center distance  1500±500 mm     600±350 mm      100±20 mm       50±5 mm       20±1 mm       25±2 mm         10±0.5 mm /15±0.75 mm

                                    Resolution           500 µm          8 µm            1 µm            0.25 µm       0.25 µm       0.6 µm          0.25 µm

                                    Linearity            ±0.2%F.S.       ±0.07%F.S.      ±0.1%F.S.       ±0.1%F.S.     ±0.05%F.S.    ±0.2%F.S.       ±0.1%F.S.

                              Beam shape                 1.5 mm × 40 mm  0.3 mm × 16 mm  60 µm × 3.5 mm  30 µm × 1 mm  20 µm × 1 mm  45 µm × 2.2 mm  25 µm × 900 µm

                          06
                                                                                                                                                                                                 Smart Sensor

                                                                                                                                                                                                                                                                       Advanced technology is carried

All Models                        Are  Class         2  Lasers.

                                                        2D CMOS Laser Image                                                                                                                                                                                High Resolution at 0.001 µm                                    High-performance Sensors

                                                        Sensing Element                                                                                                                                                 Very high                          (ZS-LD10GT)

                                                        The three basics of sensing -                                                                                                                                   resolution                         OMRON's digital sensing technology

                                                        precision, speed, and sensitivity                                                                                                                                                                  achieves unbelievably high

                                                        - can be balanced because                                                                       ±0.05% FS Linearity                                                                                resolution.

Digital Sensing                                                                                                                                         (ZS-HLDS2T)

Totally reliable measurements                           ideal measurement settings can

                                                        be made for light reception                                                                     Unique  OMRON  algorithms        reduce

with completely digital sensing.                        area.                                                                                           detection error to improve workpiece                            Extreme

                                                                                                                                                        measurement accuracy.                                           stability                                                Super-high-speed Sampling at

                                                                                                                                                                                         High                                                              High                  110 µs

                                                                                                                                                                                   precision                                                                                     (ZS-HLDS@@/LD@@)

                                                     Extremely Sensitive Lenses                                                                                                                                                                            speed                 You get exact sensing with superior

                                                                                                                                                                                                                                                                                 workpiece following performance.

                                                                                                                                                                                                                                                                                 CMOS high-speed data reading

                                                                                                                                                                                                                                                                                 accurately catches moving

Extreme Stability                                                                                                                                                                                                                                                                workpieces inline.

Ideal Size and Stability                                Superior Moving Resolution                                                                                                               Reduced Error for Different Materials

Head Size                                               Increased Lens Resolution                                                                                                                2D CMOS

Complete sensing stability with optimum Sensor Head                            Moving resolution (error based on workpiece surface                                                               With a CCD, the charge overflows to the next pixel when

size for best performance and holding mechanism                                position) has been reduced dramatically by optimizing                                                             excessive light is received. This phenomenon does not occur

secured at 3 points. (See note.)                                               the optical system with increased sensitivity and                                                                 with CMOS, so there are no effects from light fluctuations

                                                                               resolution of the light receiving lenses.                                                                         from different materials or excessive light reception.

                                                        Previous OMRON models                          10      Moving resolution when measuring SUS                                              Previous OMRON models                      Previous OMRON models

                                  ZS-HLDS60/HLDS150                            Measurement value (µm)                                                                                                                   Error (µm)  5           Cr     Glass 10 µmp-p

                                                                                                       5                         13.5 µm                                                                                            0

                                                                                                            0  1000  2000  3000  4000             5000  6000

                                                                                                       0                                                                                                                            5

                                                                                                       −5                                                                                                                           −10

                                                                                                                                                                               Constant                                             −15                                Travel                        Constant

                                                                                                       −10                                                                     distance                                                  0          20     40          distance                      distance

                                                                                                                     Travel distance                                                                                                                                   (mm)

                                                                                                            Moving resolution when measuring SUS  ZS-HLDS5T     SUS                                                                                                              Cr      Glass

                                                                               Measurement value (µm)  10                                                                                                                                   ZS-HLDS5T

ZS-HLDS2T  ZS-HLDS5T/                                   ZS-HL Series                                                                                                                             ZS-HL Series           Error (µm)  10      Cr      Glass

           HLDS10                                                                                      5                         4.5 µm                                                                                             5

                                                                                                                                                                                                                                                           0.7 µmp-p

                                                                                                       0                                                                                                                            0

                                                                                                       −5   0  500   1000  1500  2000             2500  3000                                                                        −5

                                                                                                                                                                                                                                                                       Travel

                                                                                                       −10                                                                                                              −10              0          20     40          distance

Note: ZS-HLDS2T not applicable.                                                                                      Travel distance                                                                                                                                   (mm)

                                                                                                                                          Sampling: 4 ms                                                                                                   Sampling: 4 ms

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      07
                              High-performance Sensors

                              High  grade

                              ZS-HLDS5T/HLDS10                                                                                                           Reduced Variation in Linearity between Different Objects, and Linearity

High-performance Sensors      Detect Essentially Any Object                                                                                              Determines Measurement Accuracy.

                                                                                                                                                         Makes it easier to introduce a variety of detection objects.

                                                                                      Linearity Characteristic                                                                                                                                                                                           Measuring Car Body Widths

                                                                                                                                                                                                                                                                                                         (ZS-HLDS10)

                                           Model                      ZS-HLDS5T                                            Previous OMRON models         Regular reflection                                                         ZS-HLDS5T         Regular reflection

                                           Measuring center distance  50±5 mm                             0.15                                                                                                          0.15

                                           Resolution                 0.25 µm                             0.10                                                                                                          0.10

                                           Linearity                  ±0.1%F.S.       Linearity (% F.S.)  0.05                                                                     Specified range  Linearity (% F.S.)  0.05                                                            Specified range

                                           Beam shape                 30 µm × 1 mm

                                                                                                          0.00                                                                                                          0.00

                                                                                                          −0.05  40.0      42.0                44.0      46.0                48.0                                     −0.05   40          42          44            46              48

                                           Model                      ZS-HLDS10

                                           Measuring center distance  100±20 mm                           −0.10                                                                                                       −0.10

                                           Resolution                 1 µm                                −0.15                                                                                                       −0.15

                                           Linearity                  ±0.1%F.S.                                                      Measuring range (mm)                                                                                     Measuring range (mm)

                                           Beam shape                 60 µm × 3.5 mm                             Sample-A  Sample-B  Sample-C  Sample-D  Sample-E                                                             No.1  No.2  No.3  No.4  No.5          Note:  Typical  examples             Manage trends by measuring

                                                                                                                                                                                                                                                                                                         widths of each car model.

                              ZS-HLDS60/HLDS150

                              A Long Range That Handles Essentially Any Installation Site

                                                                                      First 1,500 mm long range sensing in the industry enables measurement of previously

                                                                                      impossible points.

                                           Model                      ZS-HLDS60       Simple                     Long-distance                           Step      Measurement

                                           Measuring center distance  600±350 mm

                                           Resolution                 8 µm                                                                                         Peak

                                           Linearity                  ±0.07%F.S.                                                                                   Bottom

                                           Beam shape                 0.3 mm × 16 mm

                                                                                                                                                                                                                                                      Peak

                                           Model                      ZS-HLDS150                                                                                                                                                                      Bottom

                                           Measuring center distance  1500±500 mm

                                           Resolution                 500 µm

                                           Linearity                  ±0.2%F.S.

                                           Beam shape                 1.5 mm × 40 mm                                                                                                                                                                                                    Note: This function may not be

                                                                                                                                                                                                    Peak/bottom                     measurement                                                          applicable in bright surrounds.

                          08
                                                                                                                                               Sm                      a  r  t Sensor

                                                                                                                                                                             Advanced technology is carried

ZS-HLDS2VT

Ideal for Measuring the Height and Thickness                                                                                                                                                                          High-performance Sensors

of Transparent Objects

Tilted and moving workpieces can also be stably measured.

                                                       A special aspherical lens was

                                                       developed for the ZS-HLDS2VT,

                                                       and the design of the optical

                                                       structure was optimized for

                                                       regular-reflective workpieces.

                                       ZS-HLDS2VT      This has greatly increased the

            Model                                      allowable degree of tilt and

            Measuring center distance  25±2 mm         improved stability for measuring

            Resolution                 0.6 µm          transparent and regular-

            Linearity                  ±0.2%F.S.                                                                                                                             Aspherical  lens  (newly developed)

            Beam shape                 45 µm × 2.2 mm  reflective workpieces.

                                                       Angle Characteristics

                                                                        6

                                                                        5

                                                       Limit angle (˚)  4

                                                                        3

                                                                        2

                                                                        1

                                                                        0

                                                                           Previous OMRON model                                                ZS-HLDS2VT                    Vertical          Horizontal

                                                                                                                                                                             direction         direction

                                                                           Vertical + direction  Vertical - direction  Horizontal + direction  Horizontal - direction

                                                                                                                                                                                                                  09
                              High-performance Sensors

                              High  grade

                              ZS-HLDS2T/ZS-LD10GT/LD15GT

High-performance Sensors      The Only Way to Very High-precision Measurements

                              Superior Features for Semiconductor Wafer, Glass, and Other Measurements Requiring Precision

                              S26lim.4 mm                                                                                   Simultaneous Measuring of Touch Panel Film Thickness and Gap

                                                                                                                                                                                                          100                                                                       400

                                                                                                                                                                                                          95                                                                        350

                                                                                                                                                                                          Thickness [µm]  90                                                                        300

                                                                                                                                                                                                          85                                                              Gap [µm]  250

                                                                                                                                                                                                          80                                                                        200

                                                                               Model             ZS-HLDS2T                                                                                                75                                                                        150

                                                                      Measuring center distance  20±1 mm                                                                                                  70                                                                        100

                                                                                                                                                                                                          65                                                                        50

                                                                               Resolution        0.25 µm                                                                Thickness                         60                                                                        0

                                                                               Linearity         ±0.05%F.S.                                                                                                    0  0.2   0.2   0.4  0.6        0.8                     1                  0       0.2  0.4           0.6       0.8           1

                                                                                                                                                 Film                                                                   Travel distance (mm)                                                          Travel distance (mm)

                                                                               Beam shape        20 µm × 1 mm                                    Glass                  Gap

                                                                                                                                                                                          Simultaneous            measurement of transparent       object                    thickness      and gap

                              An unbelievable stationary measurement precision of 0.25 µm, the highest                                                                                                         in this product class.

                                                                      Ideal for Measuring Nozzle Gaps!

                                                                      Reduced pattern influence for moving                  Height Control of Sealant Dispensers                          Inspection of           Disk  Play  on  HDD         Motor Rotating Plate

                                                                      measurement, the best in the moving

                                                                      resolution industry.

                                                                      Possible to match nozzle drip point and                                    Sealant supply nozzle                                                                                                                                ZS-LD10GT

                                                                      measurement point then measure.                                                                                                                                                                 2

                                                                      Sensor Head with separate light emission                                                                                                                                                        1

                                                                                                                                                                        ZS-LD10GT/LD15GT                                                           Displacement [µm]  0

                                                                      and reception in one unit to create nozzle

                                                                      space.                                                                                                                                                                                          -1

                                                                                                                                                                                                                                                                      -2

                                                         ZS-LD10GT/LD15GT             Nozzle Gap Sensor                                                                                                                                                               -3

                                    Model                                                                                                                                                                                                                             -4

                                                                                                          Nozzle

                              Measuring center distance  10±0.5 mm/15±0.75 mm                                               Sealant application                         Glass substrate                                                                               -5

                                                                                                                                                                                                                                                                          1                 251       501                751       Number

                              Resolution                 0.25 µm                                                                                                                                                                                                                                                                   of data

                              Linearity                  ±0.1%F.S.                               Emitter          Receiver

                                                                               Measurement                                                                                                                                                    Measures                              amplitude undulations of     5  µm.

                              Beam shape                 25 × 900 µm           point

                          10
                                                                                                                                                                                                                                                                            Smart Sensor

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   Advanced technology is carried

Technology

With OMRON's sensing technology and newly developed algorithms, stable, high-precision measurement is possible of workpieces that were difficult                                                                                                                                                                                                                                              High-performance Sensors

to measure using laser displacement meters due to laser light penetration, transmission, excessive reflection, or insufficient light.

Mechanisms for Stable Measurement                                             Patent Pending             Mechanisms for Stable Measurement                                  Patent Pending        Mechanisms for High Resolution                                                 Patent Pending             Mechanisms for Stable Measurement

No more errors due to reflection                                                                         No more errors due to workpiece                                                          No more resolution errors.                                                                                No more error due to penetration.

coefficients between glass gaps                                                                          reflection coefficients.

Stable measurement by adding received light                                                              Stable measurement using laser power algorithms                                          Digital processing technology between the                                                                 Stable measurements are achieved by correctly

waveform in 2D image and digital zoom                                                                    that can be adjusted to any value.                                                       Sensor and Controller provides high resolution.                                                           recognizing the light reception distribution on the

processing.                                                                                                                                                                                                                                                       Digital communications                    2D CMOS.

                                                                                                                                                                                                                                 (2)                                        (3)

                                                                                                                                                                                                                    (1)

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   (Near)

                                                                                                         Mirror (Large)                                                     Small (Black rubber)

                                                                                                                                 Reflection coefficient                                                                                                                                                                            (Far)

                                 Light noise                                                             Large        10,000 levels min. (essentially infinite)

                      Previous                                       Detects the measurement position

                      products                                                                           Laser power  No measurement error                                                        Laser Pulse Control

One line at a time                            Received light amount  for each received light line.

                                                                                                                      ZS Series                                  31 levels                        Light quantity adjustment to any level.

                                                                                                                                                                                                  80 ns min.                               Large                  Previous                                                                                         Real peak position on

                                                                                                                                            Measurement error                                                                                                     products                                  Large                                                  surface

                                                                                                                                            Previous products                                                                              Received light amount            Light quantity                                                                         Incorrect peak

                                                                                                                                                                                                  (1)                                                                       fluctuation error               Received light amount

                                                                                                         Small                                                              Sensitivity                                                                           Error                                                                                            calculation as a

                                                                              Detects the measurement                                                                       switching                                                                             between                                                                                          result of laser light

                                                                              position after adding the                                                                                           Received Light Signal Control                                   clocks                                                                                           penetration

                      ZS Series                                               received light lines.                                                                                               No clock offset.                                                                                No error

Adding and averaging                          Received light amount                                                                                                                               (2)                                                                                                                                                              Received light

                                                                     Removed                             Light quantity adjustment algorithms have                                                                                                                                        ZS Series                                                                waveform

                                                                                                                                                                                                                                           Small                                                                                                                   disruption due to

                                                                              Position                                                                                                            (3)                                      (Near)                         Received light surface  (Far)                                                            penetration

                                                                                                         evolved for stable measurement of a variety of                                                                                                                                                     Small

                                                                                                         measurement objects.                                                                                                                                                                               (Near)                         Received light surface  (Far)

                                                                     Then with digital processing...                                                                                              High-speed digital communications (LVDS)

                                 ZS-HL Series                                                            Even if the workpiece status changes                                                     used between Sensor and Controller.

                                                                                                         suddenly, the sensitivity can compensate at                                              Image signal stabilizes because the clock                                                                 Real surface displacement detected by

                                                                                                         any level so there is no measurement error                                                                                                                                                         eliminating penetration effects for PCBs,

                                                                                                         from sensitivity switching.                                                              error between the control signal from the                                                                 plastic, and other workpieces penetrated by

Measurement cycle time 1/8 better than                                                                                                                                                            Controller and the light reception device                                                                 laser light.

previous models with addition of received light                                                                                                                                                   disappears. Optimum light quantity

waveform captured by 2D CMOS and                                                                                                                                                                  adjustment is possible with laser power

simultaneous measurement of front and back                                                                                                                                                        algorithms that can be adjusted to any level,

glass surfaces with separate sensitivities.                                                                                                                                                       which facilitates super high resolution.

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          11
                              High-performance Sensors

                              High  grade

                              Sensor Controllers                                                      ZS-HLDC (Multitasking)

High-performance Sensors      Enables maximum sensing performance with fully digital processing and multitasking functions.

                              A controller the size of a business card filled with OMRON's leading-edge digital technology.

                              Enables easy utilization of the ultimate in measurement performance.

                                                                                                                               High-performance Sensing                        (Multitasking)

                                                                                                                               Simultaneous Measurement                   and  Output  of  Up to 4 Features

                                                                                                                               When simultaneous                                               For detection of small

                                                                                                                               measurement of distance to                                      recesses and protrusions in

                                                                                                                               glass, glass thickness, gap, etc.,                              measurement location

                                                                                                                               required in glass measurement                                   Setting example                                         Enlarged

                                                                                                                               applications                                                    ■Task 1: Step

                                                                                                                               Setting example

                                                                                                                               ■Task 1: Average                                                For measurement of steps in

                                                                                                                               ■Task 2: Thickness                                              different locations with

                                                                                                                               For simultaneous measurement                                    moving Sensor or workpiece

                                                                                                                               of HDD surface deflection and                                   Setting example

                                                                                                                               distance to HDD surface                                         ■Task 1: Average                        Trigger level

                                                                                                                                                                                                    Self-down trigger

                                                                                                                               Setting example                                                      Average hold

                                                                                                                               ■Task 1: Average, Average hold                                       With delay                         Delay time 1

                                                                                                                               ■Task 2: Average, Point-to-point hold                           ■Task 2: Average

                                                                                                                                                                                                    Average hold                                      Delay time 2

                                                                                                                                                                                                    With delay

                                                                                                                                                                                               ■Task 3: Calculation (Task 2 - Task 1)

                                                                                                                               Simultaneous Control in 2 Systems of Data                   Confirmation           and  Analysis and

                                                                                                                               Data Collection, Control, and Changeovers

                                    Outline of Functions                                                                       Control Using CompoWay/F*                                                                               Control Using No-protocol

                                                                                                                                                                                                                                       Communications

                                    ZS-HLDC                                                                  ZS-LDC            Data Confirmation and                                                                                   Data collection, control,

                                                                                             Top Operation Menu                Analysis                                                                                                and changeovers

                                                                                                                               • Checks sensing screen.                                                                                • Gets measurement results.

                                                 Multitask Mode                              Single Task Mode (Standard Mode)  • Checks measurement values.                                                                            • Resets to zero.

                                                                                                                               • Logs measurement values.                                                                              • Switches banks.

                                    Sensing      TASK1   TASK2   TASK3  TASK4  I/O Settings  Sensing  TASK1  I/O Settings                                                      USB         RS-232C

                                    Measurement                                                                                * OMRON's unique communications protocol.

                                    point        Filter  Output                              Filter   Output

                                                                                                                               Improved Total Cycle Time with 1-second High-speed Bank Switching

                          12
                                                                                                                                                                     S  mart Sensor

                                                                                                                                                                        Advanced technology is carried

                                                                                                                                                                                                            High-performance Sensors

Easy Sensing with an HMI That Couldn't Be Easier to Use                             (Common Functions)

Information at the Touch of a Button                                                Set Sensing Directly                             Patent Pending

In RUN (measurement) Mode, measured values and information are displayed using      In FUN (setting) Mode, setting menus are displayed on the 2 rows of

2 rows of 8-segment LEDs. The large LED display improves visibility. Measurement    the LCD. Easy-to-understand guidance simplifies setting the many

information includes the threshold, current, resolution, and received light amount  display capabilities of the LCD. Function keys correspond to

and is available with simple key operations. LCD screens can be customized to       displayed menu items for intuitive setting of measurement conditions

change the display of desired information to easier-to-understand terminology.      and other parameters. You can also easily switch between Japanese

RUN                                                                                 and English displays. Communication with the operator is better than

(measurement mode)                         Measured value displayed.                ever before.

Example of                                 Threshold, current, resolution,                                                           FUN (setting mode)

Display Customization                      received light amount, etc.

     Device:           MAIN:MEASURE

     OMRON #1          SUB :THRESH         Switch measurement information

                                           at the touch of a button.

                                                                                                                                     Direct setting with

                                                                                                                                     function keys.

     MAIN:MEASURE      MAIN:MEASURE        MAIN:MEASURE   LD POWER 80.0%                                                                                                ZS-LDC

     SUB :THRESH       SUB :CURRENT        SUB :RESOLU    SUB:BRIGHT

Threshold              Current             Resolution     Received        light

                                                          amount                                                                                                        Single Task Controller

Mount to DIN Track or                                                               Connect directly to a PC using USB.

directly to control                                                                 USB 2.0 and RS-232C provided as standard features.                                  Simple Operation

panels.                                                                             LVDS, a new-generation digital high-speed                                           Reasonable Price

                                                                                    communications interface, is used between the Sensor

Patent Pending                                                                      Head and Controller, an industry first. If USB is used to

                                                                                    connect to the computer, high-speed all digital                  USB Connection

                                                                                    measurement data transfer is possible.

                                                                                    Firmware can be updated easily using the

                                                                                    SmartMonitor WarpEngine.

                   Panel Mounting Adapter  (Option, Sold  Separately)

                                                                                                                                                                                                        13
                      Standard Sensors

                      Standard

                      ZS-L Series Product Lineup 2D CMOS Low-end Displacement Sensors

                      Advanced sensing technology packed into the smallest Sensor Heads in this class.

                                                                                                                                                         Smallest size in this class (65 × 65 mm)

                      ZS-LD50/LD80/LD130/LD200/LD350S                                                                                                    Uniform Sensor Head size

Standard Sensors                                                                                                                                         Line/spot beam type

                                                                                                                                                         Detects black rubber, mirror, and transparent workpieces

                      2D CMOS

                      image sensor

                                                                        Super Sensitive Lens

                      Laser Class 2                                     Note: The ZS-LD50 uses

                      Degree of Protection: IP67                               high-precision

                                                                               ganged lenses.

                      (Models with 2 m cable)

                                                                                                   ZS-LD20T/LD40T                                                            ZS-LD20ST/LD50S

                                                                        Measurement range: 10 mm                                                                             Spot Beam Sensors

                                              ZS-LD50

                      Measuring center: 50 mm

                                                                        Measurement range: 30 mm

                                              ZS-LD80                                              2D CMOS

                      Measuring center: 80 mm                                                      image sensing

                                                                                                   element

                                                                        Measurement range: 30 mm                                                         High-precision

                                                                                                                                                         ganged lenses

                                              ZS-LD130                                             Laser Class 2

                      Measuring center: 130 mm                                                     Degree of Protection: IP67

                                                                                                   (Models with 2 m cable)                                                                                                     Diffuse Reflection  Sensors

                                                                                                                                                                                    ZS-LD50S

                                                                                                                                                                             Measuring center: 50 mm

                                                                                                                                         Line beam

                                                                                                                               ZS-LD20T  (900 × 25 μm)   Measurement range:

                                                                        Measurement range: 100 mm  Measuring center: 20 mm                               2 mm

                                              ZS-LD200                                             Resolution: 0.25 μm

                      Measuring center: 200 mm                                                                                                                               Measurement range:       Spot beam

                                                                                                                                                                             10 mm                    (50 μm dia.)

                                                                        More than

                                                                        sufficient

                                                                        range                                                            Line beam       Measurement range:

                                                                                                                               ZS-LD40T  (2000 × 35 μm)  5 mm                                                                                      Regular  reflection

                                                                        Measurement range: 270 mm  Measuring center: 40 mm                                                                            ZS-LD20ST                                    Sensors

                                ZS-LD350S ∗1                                                       Resolution: 0.4 μm                                                                                 Measuring center: 20 mm

                      Measuring center: 350 mm

                                                                                                                                                                                                 Measurement range: 2 mm       Spot beam

                      ∗1. Spot Beam Sensors.                                                                                                                                                                                   (25 μm dia.)

                      Note: Sensor Head can be installed to for either

                      diffuse reflection or regular reflection.

                      (except ZS-LD350S)                                Diffuse Reflection Sensor                              Regular Reflection

                      Correctly compensates measurement values                                                                 Sensors

                      to suit different applications.

                  14
                                                                                                                                                                                                Smart Sensor

                                                                                                                                                                                                                         Advanced technology is carried

Stable Measurements for PCBs, Black Resin, and Metal                                                                                     Line Beam Sensors for Emphasis                                      Spot Beam Sensors Ideal for Minute

All you need to do is select the proper mode to achieve stable sensing of PCBs, resins, black                                            on Stable Measurement                                               Workpieces and Shape Measurement

rubber,  and  other   light-penetrating        workpieces             (these  could      not     be  easily  handled               with

previous reflective laser displacement meters.)                                                                                          Line beams produce an averaging affect that is                      Ideal for measurements requiring minute

ZS-LD80                                                                                                                                  less likely to be affected by surface irregularities,               shape repeatability while matching laser

                                                                        Gain setting: 5                                                  creating stable measurements.                                       beam position with a minute target

Measuring the Shape of Black Resin Workpieces               15.000                                                                       Ideal for stable measurements that do not rely on                   measurement area.

                                                            10.000                                                                 0     the surface of the target workpiece.                                                                                             Standard Sensors

                                               Height (mm)  5.000                                                     10

                                                            0.000                                                     20                                             Travel                                                  Travel

                                                                                                                      30

                                                            −5.000                                                    40

                                                            −10.000

                                                            −15.000

                                                                                                     Number of data                                                            Travel    Amount of

                                                                                                                                                                               distance  displacement                           Beam        Travel      Amount of

Complete measurement data will be obtained at angles of up to 40°.                                                                                                                                                              diameter    distance    displacement

ZS-LD50                                                                                                                                                 Beam width   Beam diameter

Measuring the Shape PCB Surfaces                                  Response: 8 ms, High-precision mode,                                   Line Beam      ZS-     ZS-    ZS-     ZS-       ZS-     ZS-

                                                                  Black gain: 0, Red gain: 5 (max.)                                      sensors        LD20T   LD40T  LD50    LD80      LD130   LD200

                                                            1.75

                                               Height (mm)  1.73                                                                         Beam diameter  25 μm   35 μm  60 μm   60 μm     70 μm   100 μm      Spot Beam sensors  ZS-LD20ST   ZS-LD50S    ZS-LD350S

                                                            1.71                                                                         Beam width     0.9 mm  2 mm   0.9 mm  0.9 mm    0.6 mm  0.9 mm      Beam width         25 μm dia.  50 μm dia.  240 μm dia.

                                                            1.69

                                                            1.67

                                                            1.65

                                                                                         Penetration mode and gain settings used.        Easy Sensing with an HMI That Couldn't                                                   Be      Easier        to Use

PCB shapes can be measured without burs or waveform disruptions.                                                                         Just select High-precision Mode to stably measure black rubber.

Stable Measurements for Glass                                                                                                            Just select Penetration Mode to stably measure PCBs or black resin.

Stably measure height and undulations in transparent, coated, or colored glass on work tables.                                                                                           Set Sensing Directly

Stable detection at 40 mm with a line beam of 2 mm.                                                                                                                                      FUN (setting mode)

A 2-mm line beam reduces the influence of black and white patterns on granite work tables to achieve

stable measurements.

ZS-LD40T                                                          Measurements for Moving Glass

Measuring Glass Surfaces                                          [μm]  Response for glass 8 ms

                                                                  4

                                                                  3                                                                                                                                          Direct setting with

                                                                  2                                                                                                                                          function keys.

                                                                  1

                                                                  0

                                                                  −1

                                                                  −2                     0.2 μm

                                                                  −3

                                                                  −4

Ideal for measuring glass thickness and slit nozzle gaps when coating glass with resist or sealer.

                                                                                                                                                                                                                                                                      15
                     Expansion Units

                     Enhancing  unit

                     System Configuration

                     Sensors                                             Controllers                                                                                                    Peripheral Devices

                     ZS-HL Series                                        Sensor Controllers                                                                                             Parallel I/O

                                                                                                                                                               Expansion I/O Units

                                                                                                                                                                                                           PLC

                                                                                                Multi-Controllers                     Data Storage                                      High-speed Input Boards (PC)

                                                                                                                                      Units

                                                                                                                                                                                        USB

Expansion Units                                                                                                                                                ZG-RPD

                                                                                                                                                               High-speed

                                                                                                                                                               binary output

                                                                         ZS-HLDC ∗1                                                                            of measurement data. ∗3

                     ZS-L Series                                                                                                                                                        SmartMonitor (PC)    ZR-MDR10

                                                                                                                                                                                        ZS-SW@@V3E           Mobile Data Recorder

                                                                                                                                                                                        RS-232C

                                                                                                ZS-MDC                                ZS-DSU                                                                    PLCs etc.

                                                                                                Calculating measurement               Log measurement Values.

                                                                                                results for each sensor.

                                                                                                                                                                                        CompoNet

                                                                         ZS-LDC ∗2

                                                                                                                                                                                                             PLCs etc.

                                                           ∗1: The ZS-HLDC can be connected to a ZS-HL/L-series Sensor Head.                                                            ZS-CRT Sensor Communications Unit

                                                           ∗2: The ZS-LDC can be connected only to a ZS-L-series Sensor Head.

                                                           ∗3: The ZG-RPD Expansion I/O Unit can be connected only to a ZS-HL-series  Sensor      Controller.  Connection Cable         Analog

                                ZS-HL-series       Long-distance Extension Cable                                                                               ZS-XC02D

                                                                                     25 m max.

                                                                         Flexible Long-distance Extension Cable                                                                         Digital Panel Meter

                                                   ZS-XEQ                ZS-XC15CR/XC25CR                                      Digital Equalizer

                                      Sensor Head  Digital Equalizer ∗4                                                        ZS-XEQ ∗4          Controller

                                      ZS-HLDS@     ∗4: ZS-XEQ Digital Equalizer can be connected to ZS-HL Series only.                            ZS-HLDC@

                 16
                                                                                                                                                                                                             Smart Sensor

                                                                                                                                                                                                             Advanced technology is carried

Multi-Controller ZS-MDC

Centralized Controller Information Calculations

Transfers data between multi-connected Controllers and performs high-speed multiprocessing.

High-speed Connections for Up To 9 Controllers

See the difference in applications requiring multipoint measurement, such as thickness, steps, and flatness

measurements. Connect up to 9 Controllers with the fastest high-speed bus in the industry. Digital processing

prevents data dropouts to provide the capability to measure exactly what is seen.

Sampling speed with 3 Controllers connected: 110 μs, Sampling speed with 9 Controllers connected: 380 μs

Note: When using communications commands.

   Sensor Head                                             Multi-Controllers                                                      SmartMonitor

                                                                                                                                Monitor connected Controllers                                                                                    Expansion Units

                                                                                                                                together

                                                                                                                             USB

Multipoint measurement                ZS-MDC                                                       Processing results

(flatness of resins or metals)

Processing Enabled by the Multi-Controller

Flatness Calculations                                Reference Step Calculations                   Relative Step Calculations                                  Twisting Calculations

Calculating the difference between the               Calculating the difference between a          Calculating the difference between all points.              Calculating twisting between opposing sides.

maximum and minimum values.                          reference point (A) and other points.

      C                                                 C     Number of Sensor                                         C          Number of Sensor                A     D

A             B                                      A        Controllers: 3 to 9                  A                              Controllers: 3 to 9

                                                           B                                                              B       Calculation:

                        Number of Sensor                      Calculation:                                                                                     B     C     Number of Sensor

                        Controllers: 3 to 9                   TASK1 = A − B                                                       TASK1 = A − B                            Controllers: 4

                                                              TASK2 = A − C                                                       TASK2 = B − C

Calculation:                                                                                  ···                                 TASK3 = C − A

Task 1 = Max. (A, B, ···) − Min. (A, B, ···)                  Individual judgments                                                Individual judgments            Calculation: TASK1 = (A − B) − (D − C)

Multipoint Thickness Calculations                    Average Height Calculations                   Warp Calculations                                           User-set Calculations                         Multi-calculations of Data

Calculating the difference between pairs of points.  Calculating the average surface height.       Calculating warping of selected sides                       Formulas can be flexibly set.

                        Number of Sensor                C                                                                    C                                                                               Multipoint measurement

A  C             E      Controllers: 2, 4, 6, or 8   A                                                B

                        Calculation:                       B  Number of Sensor                     A                              Number of Sensor

                        TASK1 = K + (A − B)                   Controllers: 2 to 9                                                 Controllers: 3                  [K + mX + nY]

                        TASK2 = K + (C − D)

B  D             F      TASK3 = K + (E − F)                                                                                                                                                                  High-speed data transfer

                        Individual judgments         Calculation: Task 1 = Average (A, B, C, ···)  Calculation: Task 1 = B − (A + C)/2

                                                                                                                                                                                                                                             17
                     Expansion Units

                     Enhancing  unit

                     Data Storage Unit ZS-DSU

                     Logging Software for Onsite Installed

                                                 Efficiently stores sensing data using a variety of logging functions.

                                                 High-speed, long term logging settings can be used to precisely process the required sensing

                                                 data, which can be reliably and completely collected using USB and an all-digital bus.

                                                 Sensor setting data can also be stored.

                                                 Data for up to 128 banks can be stored and transferred to the Master Unit for changeovers.

                                                 High-speed sampling rate: 150 μs max.

                                                 Powerful support for logging data using various trigger functions.

Expansion Units                                                         Number of                   10 max. (ZS-MDC: 1, ZS-HLDC/LDC: 9 max.)

                                                 Config-                connectable Controllers

                                                 uration    Connectable Controllers                 ZS-HLDC@, ZS-LDC@, ZS-MDC@

                                                                        Data resolution             32 bits

                                                 Perform-                                           • Shortest high-speed logging mode (One-shot Mode) ∗1

                                                 ance                   Sampling rate               • Long-term logging mode (Repeat Mode) ∗2

                                                                                                    • Sampling period: 10 ms to 1 h (at 1-ms intervals)                              Data Storage Unit      Sensor Controller  Sensor Controller

                                                                                                                                                                                     (ZS-DSU)                   (ZS-LDC)       (ZS-LDC)

                                                                                                    Start and end triggers can be set separately.                                       CF Card

                                                                        Trigger functions           External trigger/data trigger (self-trigger)

                                                                                                    Time triggers

                                                 Functions                                          • External bank function

                                                                        Other functions             • Alarm output function

                                                                                                    • Saved data format customization function

                                                                                                    • Time function (timestamps)

                                                                                                    • CSV file generation Software

                                                            Software (included)                     • Excel macros for simple analysis                                                  Data Storage Unit

                                                                                                          (Equivalent to software provided with SmartMonitor Professional.)

                                                                                                                                                                                                                               ZS-DSU

                     Multipoint data collection  ∗1) For One-shot Mode                                       ∗2) For Repeat Mode (Logging time depends on capacity of Memory Card.)

                                                 • Connected to ZS-LDC                                       • Example for 64-MB Memory Card                                         • Connected to ZS-MDC

                                                 Number of  Min. sampling interval  Longest logging time           Number of  Min. sampling interval  Longest logging time           Number of  Min. sampling interval         Longest logging time

                                Traceability     channels                                                          channels                                                          channels

                                                 1                      150 μs             10 min                  1              10 ms                  20 h                        1                  350 μs                 20 min

                                                 2                      200 μs             6.5 min                 2              10 ms                  10 h                        2                  400 μs                 12 min

                                                 4                      350 μs             5.5 min                 4              10 ms                  5h                          4                  500 μs                 8 min

                                                 9                      650 μs             4.5 min                 9              10 ms                  2h                          9                  700 μs                 5 min

                     Changeover Unit                                                       Typical examples                                           Typical examples                                                         Typical examples

                 18
                                                                                                                                                  Smart Sensor

                                                                                                                                                                               Advanced technology is carried

Setting Software for ZS Series SmartMonitor V3                                                                                                    Professional ZS-SW11V3E

Use a Computer for Everything from Ideal ZS Settings to Powerful Support                                                                          of Data Collection and Analysis.

Easy Settings Using USB.

More Powerful Setting Support                                                Meets a wide range of logging needs.

The CMOS light reception image and the received light                        Log measurement results at various times to leave judgment

waveform can be displayed. The real power of the                             and inspection results.

SmartMonitor is seen when measuring transparent objects and                  The fastest sampling interval is 500 μs (see note).

other workpieces that create multiple received light waveforms.              Note: Data may be skipped, depending on the computer system.

●Received Light Monitor                                                      Use a computer that meets the recommended system requirements.

                                                                             ●Logging                                                                                                                                 Expansion Units

                                 Light reception image

                                 Received light

                                 waveform

                                 (Light Brightness)

High-speed simultaneous multichannel waveform graphs.                        Excel macro provided for simple analysis.

High-speed display: 2-ms interval at max. speed (see note);                  Data collected by logging can be processed with an Excel

Simultaneous multichannel waveform display: Up to 9                          macro using filters, slope compensation, filter median transitions,  Recommended System Requirements

waveforms can be displayed.                                                  differentiation, integration, and arithmetic functions and then      SmartMonitor Professional

Note: Data may be skipped, depending on the computer system. Use a computer  used for nominal judgments and other determinations.                 OS: Windows 2000/XP

that meets the recommended system requirements.                              ●Analysis                                                            CPU: Pentium III 850 MHz or greater (2 GHz min. recommended.)

●Multi-channel Waveform Display                                                                                                                   Memory: 128 MB min. (256 MB min. recommended)

                                                                                                                                                  Available hard disk space: 50 MB min.

                                                                                                                                                  Display screen: 800 × 600 dots, High Color (16 bits) min.

                                                                                                                                                  (1,024 × 768 dots, True Color (32 bits) min.

                                                                                                                                                  recommended)

                                                                                                                                                  Note: If the recommended system requirements are not met, data

                                                                                                                                                  may be interrupted and waveforms not displayed correctly

                                                                                                                                                  when using the logging, high-speed graph drawing, and

                                                                                                                                                  multi-channel waveform drawing functions.

                                                                                                                                                  SmartAnalyzer Macro Edition

                                                                                                                                                  For Microsoft Excel Macro Programming

                                                                                                                                                  Microsoft Excel 2000 or later required.

                                                                                                                                                                                                                  19
                                Ratings and Specifications

                                Specification

                                Ordering Information

                                Smart Sensor

                                ZS-HL-series Sensor Heads                                                                                        ZS-HL-series Sensor Controllers

                                Optical system             Sensing distance  Beam shape  Beam diameter    Resolution (see note  1.)  Model       Shape                            Supply voltage  Control outputs  Model

                                                           20±1 mm           Line beam   1.0 mm × 20 μm   0.25 μm                    ZS-HLDS2T

                                Regular Reflective Models  25±2 mm           Line beam   2.2 mm × 45 μm   0.6 μm                     ZS-HLDS2VT                                                   NPN outputs      ZS-HLDC11

                                                           50±5 mm           Line beam   1.0 mm × 30 μm   0.25 μm                    ZS-HLDS5T                                    24 VDC

                                                                                         3.5 mm × 60 μm   1 μm                                                                                    PNP outputs      ZS-HLDC41

                                Diffuse Reflective         100±20 mm         Line beam                                               ZS-HLDS10

                                Models                     600±350 mm        Line beam   16 mm × 0.3 mm   8 μm                       ZS-HLDS60

                                                                                                                                                 ZS-L-series Sensor Controllers

                                                           1500±500 mm       Line beam   40 mm × 1.5 mm   500 μm                     ZS-HLDS150

                                Note 1:  Refer to the table of ratings and specifications for details.                                           Shape                            Supply voltage  Control outputs  Model

                                2:       Specify the cable length when ordering.

                                                                                                                                                                                                  NPN outputs      ZS-LDC11

                                ZS-HL-series Sensor Heads (For Nozzle Gaps)                                                                                                       24 VDC

                                Optical system             Sensing distance  Beam shape  Beam diameter    Resolution (see note  1.)  Model                                                        PNP outputs      ZS-LDC41

                                Regular Reflective 10±0.5 mm                 Line beam   900 × 25 μm      0.25 μm                    ZS-LD10GT

                                Models                     15±0.75 mm        Line beam   900 × 25 μm      0.25 μm                    ZS-LD15GT   Multi-Controllers

                                Note 1:  Refer to the table of ratings and specifications for details.

                                2:       Specify the cable length when ordering.                                                                 Shape                            Supply voltage  Control outputs  Model

Ratings and Specifications      ZS-L-series Sensor Heads                                                                                                                                          NPN outputs      ZS-MDC11

                                Optical system             Sensing distance  Beam shape  Beam diameter    Resolution (see note  1.)  Model                                        24 VDC

                                                                             Line beam   900 × 25 μm      0.25 μm                    ZS-LD20T                                                     PNP outputs      ZS-MDC41

                                Regular Reflective         20±1 mm

                                                                             Spot beam   25 μm dia.       0.25 μm                    ZS-LD20ST

                                Models                     40±2.5 mm         Line beam   2000 × 35 μm     0.4 μm                     ZS-LD40T    Data Storage Units

                                                           50±5 mm           Line beam   900 × 60 μm      0.8 μm                     ZS-LD50     Shape                            Supply voltage  Control outputs  Model

                                                                             Spot beam   50 μm dia.       0.8 μm                     ZS-LD50S

                                                           80±15 mm          Line beam   900 × 60 μm      2 μm                       ZS-LD80                                                      NPN outputs      ZS-DSU11

                                Diffuse Reflective         130±15 mm                     600 × 70 μm      3 μm                       ZS-LD130                                     24 VDC

                                Models                                       Line beam

                                                           200±50 mm         Line beam   900 × 100 μm     5 μm                       ZS-LD200                                                     PNP outputs      ZS-DSU41

                                                           350±135 mm        Spot beam   240 μm dia.      20 μm                      ZS-LD350S

                                Note 1:  No. of samples to average: 128 when set to High-precision Mode.

                                2:       Specify the cable length when ordering.

                            20
                                                                                                                                            Smart Sens                                                          or

                                                                                                                                                          Advanced technology is                                carried

Accessories (Sold     Separately)

Controller Link Unit                                       Extension Cables for Sensor Heads                                                Realtime Parallel Output Unit (for ZS-HL Series)

       Shape                   Model                       Cable length                     Model                                 Qty       Shape         Control outputs                             Model

                                                           1m                               ZS-XC1A                               1                       NPN outputs                                 ZG-RPD11

                               ZS-XCN                      4m                               ZS-XC4A                               1

Panel Mount Adapter                                        5m                               ZS-XC5B (∗1, ∗2)                      1                       PNP outputs                                 ZG-RPD41

                                                           8m                               ZS-XC8A                               1

       Shape                   Model                       10 m                             ZS-XC10B (∗1)                         1         CompoNet-compatible Sensor Communications Unit.

                                                           ∗1. Up to two ZS-XC@B Cables can be connected. (22    m  max.)                   Shape                                             Model

                      ZS-XPM1          For 1st Controller  ∗2. A Robot Cable (ZS-XC5BR) is also available.

                                                           Long Extension Cables for Sensor Heads                                                                                             ZS-CRT

                      ZS-XPM2          For expansion       (Used with a Digital Equalizer for ZS-HL Series)

                               (from 2nd Controller on)                               Name                                 Model       Qty

RS-232C Cables                                             Digital Equalizer (Relay)                                ZS-XEQ             1    Memory Cards

                                                           Extension Cable (long distance, flexible 15 m cable)     ZS-XC15CR          1    Model                      Capacity

Connected to          Model            Qty                 Extension Cable (long distance, flexible 25 m cable)     ZS-XC25CR          1    F160-N256S    256 Mbytes

Personal computer                                          Digital Equalizer Connection Cable (0.2 m)               ZS-XC02D           1

(2 m)                 ZS-XRS2          1

                                                           Logging Software

PLC/PT                ZS-XPT2          1                                 Name                                       Model                                                                                                    Ratings and Specifications

(2 m)

                                                           SmartMonitor Professional                                ZS-SW11V3E

                                                                                                                                                                                                                         21
                                Ratings and Specifications

                                ZS-HL/L-series Sensor Controllers

                                Item                                                                                Model                      ZS-HLDC11/LDC11                                                                           ZS-HLDC41/LDC41

                                No. of samples to average                                                                                                          1, 2, 4, 8, 16, 32, 64, 128, 256, 512, 1,024, 2,048, or 4,096

                                Number of mounted Sensors                                                                                                                                        1 per Sensor Controller

                                                      Connection method                                                                                            Serial I/O: connector, Other: pre-wired (Standard cable length: 2 m)

                                                      Serial I/O         USB 2.0                                                                                                        1 port, Full Speed (12 Mbps max.), MINI-B

                                                                         RS-232C                                                                                                                 1 port, 115,200 bps max.

                                                                         Judgment                                                         HIGH/PASS/LOW 3 outputs                                                                        HIGH/PASS/LOW: 3 outputs

                                                                         output                                            NPN  open collector, 30 VDC, 50 mA max., residual voltage 1.2 V max.                               PNP open collector, 50 mA max., residual voltage 1.2 V max.

                                External interface    Output                                                                                   Selectable from 2 types of output, voltage or current (selected by slide switch on bottom).

                                                                         Linear                                                                                           • Voltage output: −10 to 10 V, output impedance: 40 Ω

                                                                         output

                                                                                                                                                                          • Current output: 4 to 20 mA, maximum load resistance: 300 Ω

                                                      Inputs             Laser OFF,           ZERO  reset  timing,              ON: Short-circuited with 0 V terminal or 1.5 V or less                                     ON: Short-circuited to supply voltage or within 1.5 V of supply voltage.

                                                                         RESET                                                  OFF: Open (leakage current: 0.1 mA max.)                                                            OFF: Open (leakage current: 0.1 mA max.)

                                                                                                                                Display:       Measured value, threshold value, voltage/current, received light amount, and resolution/terminal block output ∗2

                                                                                                                                Sensing:       Mode, gain, measurement object, head installation

Ratings and Specifications                                                                                                      Measurement point ∗1: Average, peak, bottom, thickness, step, and calculations

                                                                                                                                Filter:        Smooth, average, and differentiation

                                Functions                                                                                       Outputs:       Scaling, various hold values, and zero reset

                                                                                                                                I/O settings:  Linear (focus/correction), judgments (hysteresis and timer), non-measurement, and bank (switching and clear) ∗2

                                                                                                                                System:        Save, initialization, measurement information display, communications settings, key lock, language, and data load

                                                                                                                                Task:          ZS-HLDC@1: Single task or multitask (up to 4)

                                                                                                                                               ZS-LDC@1: Single task

                                Status indicators                                                                                              HIGH (orange), PASS (green), LOW (orange), LDON (green), ZERO (orange), and ENABLE (green)

                                Segment display                          Main digital                                                                                                            8-segment red LED, 6 digits

                                                                         Sub-digital                                                                                                    8-segment green LEDs, 6 digits

                                LCD                                                                                                            16 digits x 2 rows, Color of characters: green, Resolution per character: 5 x 8 pixel matrix

                                Setting inputs                           Setting keys                                                          Direction keys (UP, DOWN, LEFT, and RIGHT), SET key, ESC key, MENU key, and function keys (1 to 4)

                                                                         Slide switch                                                          Threshold switch (2 states: High/Low), mode switch (3 states: FUN, TEACH, and RUN)

                                Power supply voltage                                                                                                                                    21.6 V to 26.4 VDC (including ripple)

                                Current consumption                                                                                                                                     0.5 A max. (when Sensor Head is connected)

                                Ambient temperature                                                                                            Operating: 0 to 50°C, Storage: −15 to +60°C (with no icing or condensation)

                                Ambient humidity                                                                                                                   Operating and storage: 35% to 85% (with no condensation)

                                Degree of protection                                                                                                                                             IP20 (IEC60529)

                                Materials                                                                                                                                                        Case: Polycarbonate (PC)

                                Cable length                                                                                                                                                     2m

                                Weight                                                                                                                             Approx. 280 g (excluding packing materials and accessories)

                                Accessories                                                                                                                                             Ferrite core (1), instruction sheet

                                ∗1. Can be used with ZS-HLDC@1 when Multitask Mode selected.

                                ∗2. Terminal block output is a function of the ZS-HLDC@1.

                            22
                                                                                                                                                                                                                  Smart                                                  Sensor

                                                                                                                                                                                                                                                           Advanced technology is carried

Ratings and Specifications

ZS-HL-series Sensor Heads

Item                               Model                      ZS-HLDS2T                      ZS-HLDS2VT                               ZS-HLDS5T                           ZS-HLDS10                                      ZS-HLDS60                                          ZS-HLDS150

Applicable Controllers                                                                                                                                                    ZS-HLDC series

Optical system                            Regular reflection  Diffuse reflection             Regular reflection                Diffuse reflection     Regular reflection  Diffuse reflection  Regular reflection         Diffuse reflection                                 Diffuse reflection

Measuring center distance                              20 mm                         5.2 mm  25 mm                             50 mm                  44 mm               100 mm              94 mm                      600 mm                                             1500 mm

Measuring range                                        ±1 mm                         ±1 mm   ±2 mm                             ±5 mm                  ±4 mm               ±20 mm              ±16 mm                     ±350 mm                                            ±500 mm

Light source                                                                         Visible semiconductor laser (wavelength: 650 nm, 1 mW max., JIS Class 2)                                                     Visible semiconductor laser (wavelength: 658 nm, 1 mW max., JIS Class 2)

Beam shape                                                                                                                                                                Line beam

Beam diameter ∗1                                             1.0 mm × 20 μm                  2.2 mm × 45 μm                    1.0 mm × 30 μm                             3.5 mm × 60 μm                                 16 × 0.3 mm (at 500 mm)                            40 × 1.5 mm (at 1,500 mm)

Linearity ∗2                                                  ±0.05%F.S.                     ±0.2%F.S.                                                       ±0.1%F.S.                                            ±0.07%F.S. (250 to 750 mm), ±0.1%F.S. (750 to 950 mm)     ±0.2%F.S.

Resolution ∗3                             0.25 μm (No. of samples to average: 256)           0.6 μm                            0.25 μm (No. of samples to average: 512)   1 μm (No. of samples to average: 64)    8 μm (No. of samples to average: 64 at 250 mm),        500 μm (No. of samples to average: 64)

                                                                                             (No. of samples to average: 128)                                                                                     40 μm (No. of samples to average: 64 at 600 mm)

Temperature characteristic ∗4                                 0.01%F.S./°C                   0.1%F.S./°C                                                                                           0.01%F.S./°C

Sampling cycle                                                                                          110 μs (High-speed Mode), 500 μs (Standard Mode), 2.2 μs (High-precision Mode), 4.4 μs (High-sensitivity Mode)

                      NEAR indicator                                                                Lights near the measuring center distance, and closer than the measuring center distance inside the measuring range.

LED Indicators                                                                                      Flashes when the measurement target is outside of the measuring range or when the received light amount is insufficient.                                                                                             Ratings and Specifications

                      FAR indicator                                                                 Lights near the measuring center distance, and farther than the measuring center distance inside the measuring range.

                                                                                                    Flashes when the measurement target is outside of the measuring range or when the received light amount is insufficient.

Operating ambient illumination                                                       Illumination on received light surface: 3000 lx or less (incandescent light)                                                 Illumination on received light surface:                   Illumination on received light surface:

                                                                                                                                                                                                                  1000 lx or less (incandescent light)                      500 lx or less (incandescent light)

Ambient temperature                                                                                                                   Operating: 0 to 50°C, Storage: −15 to 60°C (with no icing or condensation)

Ambient humidity                                                                                                                                      Operating and storage: 35% to 85% (with no condensation)

Degree of protection                                          IP64                           IP67                                     Cable length 0.5 m: IP66, cable length 2 m: IP67                                                                             IP66 ∗5

Materials                                                                                                                                             Case: Aluminum die-cast, Front cover: Glass

Cable length                                                  0.5 m, 2 m                            2m                                                                                                0.5 m, 2 m

Weight                                                              Approx. 350 g                                                                                         Approx. 600 g                                                                    Approx. 800 g

Accessories                                                                                                                    Laser labels (1 each for JIS/EN), ferrite cores (2), insure locks (2), instruction sheet

∗1. Defined as 1/e2 (13.5%) of the center optical intensity at the actual measuring center distance (effective value). The beam diameter is sometimes influenced by the ambient conditions of the workpiece, such as leaked light from the main            beam.

∗2. This is the error in the measured value with respect to an ideal straight line.          ∗3. This is the peak-to-peak displacement conversion value in the displacement output at the measuring center distance in high-precision mode

Linearity may change according to the workpiece.                                             when the number of samples to average is set to within the graph.

The following options are available.                                                         The maximum resolution at 250 mm is also shown for the ZS-HLDS60. The following options are available.

Model                 Diffuse reflection  Mirror reflection                                  Model                             Diffuse reflection     Mirror reflection

ZS-HLDS2T               SUS block         Glass                                              ZS-HLDS2T                         SUS block              Glass

ZS-HLDS2VT                 ---            Glass                                              ZS-HLDS2VT                        ---                    Glass

ZS-HLDS5T          White alumina ceramic  Glass                                              ZS-HLDS5T                         White alumina ceramic  Glass

ZS-HLDS10                  White alumina ceramic                                             ZS-HLDS10                         White alumina ceramic

ZS-HLDS60/HLDS150  White alumina ceramic          ---                                        ZS-HLDS60/HLDS150                 White alumina ceramic  ---

∗4. This is the value obtained at the measuring center distance when the Sensor and workpiece are fixed by an aluminum jig. (typical example)

∗5. Ask your OMRON representative about Sensor Heads with IP67 protection.                                                                                                                                                                                                                                           23
                                Ratings and Specifications

                                ZS-L-series Sensor Heads

                                Item                            Model         ZS-LD20T                                              ZS-LD20ST                                           ZS-LD40T                                         ZS-LD10GT                                                         ZS-LD15GT

                                Applicable Controllers                                                                                                                         ZS-HLDC/LDC Series

                                Optical system                         Regular reflection  Diffuse reflection                Regular reflection  Diffuse reflection            Regular reflection       Diffuse reflection                                                             Regular reflection

                                Measuring center distance              20 mm               6.3 mm                            20 mm                 6.3 mm                      40 mm                    30 mm                                                     10 mm                                    15 mm

                                Measuring range                        ±1 mm               ±1 mm                             ±1 mm                 ±1 mm                       ±2.5 mm                  ±2 mm                                                     ±0.5 mm                                  ±0.75 mm

                                Light source                                                                                                       Visible semiconductor laser (wavelength: 650 nm, 1 mW max., JIS Class 2)

                                Beam shape                                    Line beam                                             Spot beam                                                                                            Line beam

                                Beam diameter ∗1                              900 × 25 μm                                           25 μm dia.                                          2000 × 35 μm                                                                       Approx. 25 × 900 μm

                                Linearity ∗2                                                                                                                                            ±0.1% FS

                                Resolution ∗3                                 0.25 μm                                               0.25 μm                                                     0.4 μm                                                            0.25 μm                                  0.25 μm

                                Temperature characteristic ∗4                 0.04% FS/°C                                           0.04% FS/°C                                         0.02% FS/°C                                                                                    0.04% FS/°C

                                Sampling cycle                                                                               110 μs (High-speed Mode), 500 μs (Standard Mode), 2.2 ms (High-precision Mode), 4.4 ms (High-sensitivity Mode)

Ratings and Specifications                                                                                                   Lights near the measuring center distance, and closer than the measuring center distance inside the measuring range.

                                                      NEAR indicator

                                                                                                                             Flashes when the measurement target is outside of the measuring range or when the received light amount is insufficient.

                                LED Indicators

                                                                                                                             Lights near the measuring center distance, and farther than the measuring center distance inside the measuring range.

                                                      FAR indicator

                                                                                                                             Flashes when the measurement target is outside of the measuring range or when the received light amount is insufficient.

                                Operating ambient illumination                                                                                     Illumination on received light surface: 3000 lx or less (incandescent light)

                                Ambient temperature                                                                                                Operating: 0 to 50°C, Storage: −15 to 60°C (with no icing or condensation)

                                Ambient humidity                                                                                                                               Operating and storage: 35% to 85% (with no condensation)

                                Degree of protection                                                                         Cable length 0.5 m: IP66, cable length 2 m: IP67                                                                                                          IP40

                                Materials                                                                                                                                      Case: Aluminum die-cast, Front cover: Glass

                                Cable length                                                                                                                                            0.5 m, 2 m

                                Weight                                                                                              Approx. 350 g                                                                                                                                      Approx. 400 g

                                Accessories                                                Laser labels (1 each for JIS/EN, 3 for FDA), ferrite cores (2), insure locks (2), instruction sheet                                           Laser safety labels (1 each for JIS/EN), ferrite cores            (2), insure locks  (2)

                                ∗1. Defined as 1/e2 (13.5%) of the center optical intensity at the actual measuring center distance (effective value). The beam diameter is sometimes influenced by the ambient conditions of the workpiece, such as leaked light from the main beam.

                                ∗2. This is the error in the measured value with respect to an ideal straight line. The standard workpiece is white aluminum ceramics and glass in the regular reflection mode. Linearity may change according to the workpiece.

                                ∗3. This is the peak-to-peak displacement conversion value in the displacement output at the measuring center distance in high-precision mode when the number of samples to average is set to 128 and the measuring mode is set to the high-resolution mode.

                                The standard workpiece is white aluminum ceramics and glass in the regular reflection mode.

                                ∗4. This is the value obtained at the measuring center distance when the Sensor and workpiece are fixed by an aluminum jig. (typical example)

                            24
                                                                                                                                                                                                                Smart Sensor

                                                                                                                                                                                                                                                                     Advanced technology is carried

Ratings and Specifications

ZS-L-series Sensor Heads

Item                    Model            ZS-LD50                                                     ZS-LD50S                        ZS-LD80                                   ZS-LD130                                                                ZS-LD200                        ZS-LD350S

Applicable Controllers                                                                                                       ZS-HLDC/LDC Series

Optical system                    Diffuse reflection  Regular reflection  Diffuse reflection         Regular reflection      Diffuse reflection  Regular reflection  Diffuse reflection  Regular reflection         Diffuse reflection                 Regular reflection              Diffuse reflection

Measuring center distance         50 mm               47 mm               50 mm                                   47 mm      80 mm               78 mm               130 mm                              130 mm      200 mm                                          200 mm            350 mm

Measuring range                   ±5 mm               ±4 mm               ±5 mm                                   ±4 mm      ±15 mm              ±14 mm              ±15 mm                              ±12 mm      ±50 mm                                          ±48 mm            ±135 mm

Light source                                                                                                                 Visible semiconductor laser (wavelength: 650 nm, 1 mW max., JIS Class 2)

Beam shape                               Line beam                                                   Spot beam                       Line beam                                 Line beam                                                               Line beam                       Spot beam

Beam diameter ∗1                         900 × 60 μm                                                 50 μm dia.                     900 × 60 μm                                600 × 70 μm                                                             900 × 100 μm                    240 μm dia.

Linearity ∗2 ±0.1% FS                                                                                             ±0.1% FS                                                                               ±0.25% FS   ±0.1% FS                                    ±0.25% FS             ±0.1% FS

Resolution ∗3                            0.8 μm                                                      0.8 μm                          2 μm                                              3 μm                                                            5 μm                            20 μm

Temperature characteristic ∗4     0.02% FS/°C                                                        0.02% FS/°C                    0.01% FS/°C                                0.02% FS/°C                                                             0.02% FS/°C                     0.04% FS/°C

Sampling cycle ∗5                                                                                    110 μs (High-speed Mode), 500 μs (Standard Mode), 2.2 ms (High-precision Mode), 4.4 ms (High-sensitivity Mode)

                                                                          Lights near the measuring center distance, and closer than the measuring center distance inside the measuring range.                                                                                                                            Ratings and Specifications

                  NEAR indicator

                                                                          Flashes when the measurement target is outside of the measuring range or when the received light amount is insufficient.

LED Indicators

                                                                          Lights near the measuring center distance, and farther than the measuring center distance inside the measuring range.

                  FAR indicator

                                                                          Flashes when the measurement target is outside of the measuring range or when the received light amount is insufficient.

Operating ambient illumination                        Illumination on received light surface: 3000 lx or less (incandescent light)                                   Illumination on received light surface:         Illumination on received light surface:                 3000  lx  or less (incandescent  light)

                                                                                                                                                                     2000 lx or less (incandescent light)

Ambient temperature                                                                                                          Operating: 0 to 50°C, Storage: −15 to 60°C (with no icing or condensation)

Ambient humidity                                                                                                             Operating and storage: 35% to 85% (with no condensation)

Degree of protection                                                                                                         Cable length 0.5 m: IP66, cable length 2 m: IP67

Materials                                                                                                                    Case: Aluminum die-cast, Front cover: Glass

Cable length                                                                                                                                     0.5 m, 2 m

Weight                                                                                                                                           Approx. 350g

Accessories                                                                                                Laser labels (1 each for JIS/EN, 3 for FDA), ferrite cores (2), insure locks (2), instruction sheet

∗1. Defined as 1/e2 (13.5%) of the center optical intensity at the actual measuring center distance (effective value). The beam diameter is sometimes influenced by the ambient conditions of the workpiece, such as leaked light from the main beam.

∗2. This is the error in the measured value with respect to an ideal straight line. The standard workpiece is white aluminum ceramics and glass in the ZS-LD50/LD50S regular reflection mode. Linearity may change according to the workpiece.

∗3. This is the peak-to-peak displacement conversion value in the displacement output at the measuring center distance in high-precision mode when the number of samples to average is set to 128 and the measuring mode is set to the high-resolution mode.

The standard workpiece is white aluminum ceramics and glass in the ZS-LD50/LD50S regular reflection mode.

∗4. This is the value obtained at the measuring center distance when the Sensor and workpiece are fixed by an aluminum jig.

∗5. This value is obtained when the measuring mode is set to the high-speed mode. (typical example)

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      25
                                Ratings and Specifications

                                ZS-MDC@1 Multi-Controllers                                                                                                      Controller Link Units

                                Basic specifications are the same as those for the ZS-LDC@1 Sensor  Controllers. The following points, however, are different.  Connection Using the ZS-XCN                      Controller Link Units

                                1. Sensor Heads cannot be connected.

                                2. Control Link Units are required to connect up to 9 Controllers.

                                Control Link Units are required to connect Controllers.

                                3. Processing functions between Controllers: Arithmetic functions

                                                                                                                                                                                       Data Storage Unit                     Multi-Controller                 Sensor Controllers

                                ZS-DSU@1 Data Storage Unit

                                Item                                                                Model  ZS-DSU11                                                                                                                                           ZS-DSU41

                                Number of mounted Sensor Heads                                                                                                                         Cannot be connected

                                Number of connectable Controllers                                                                                               10 max. (ZS-MDC: 1, ZS-HLDC/LDC: 9 max.) ∗1

                                Connectable Controllers                                                                                                         ZS-HLDC@@, ZS-LDC@@, ZS-MDC@@

                                                      Connection method                                                                                         Serial I/O: connector, Other: pre-wired (standard cable length: 2 m)

                                                      Serial I/O         USB 2.0                                                                                1 port, Full Speed (12 Mbps max.), MINI-B

Ratings and Specifications      External interface                       RS-232C                                                                                                       1 port, 115,200 bps max.

                                                      Output                                               3 outputs: HIGH, PASS, and LOW; NPN open-collector, 30 VDC, 50 mA max., residual voltage: 1.2 V max.  3 outputs: HIGH, PASS, and LOW; PNP open-collector, 50 mA max., residual voltage: 1.2 V                      max.

                                                      Inputs                                               ON: Short-circuited with 0 V terminal or 1.5 V or less; OFF: Open (leakage current: 0.1 mA max.)      ON: Short-circuited to supply voltage or within 1.5 V of supply voltage; OFF: Open (leakage current: 0.1 mA  max.)

                                Data resolution                                                                                                                                                                  32 bits

                                Functions             Logging trigger functions                            Start and stop triggers can be set separately; external triggers, data triggers (self-triggers), and time triggers

                                                      Other functions                                                                                           External banks, alarm outputs, saved data format customization, and clock

                                Status indicators                                                                                                               OUT (orange), PWR (green), ACCESS (orange), and ERR (red)

                                Segment display                                                                                                                 8-segment green LEDs, 6 digits

                                LCD                                                                                                                             16 digits x 2 rows, Color of characters: green, Resolution per character: 5 × 8 pixel matrix

                                Setting inputs                           Setting keys                      Direction keys (UP, DOWN, LEFT, and RIGHT), SET key, ESC key, MENU key, and function keys (1 to 4)

                                                                         Slide switch                                                                           Threshold switch (2 states: High/Low), mode switch (3 states: FUN, TEACH, and RUN)

                                Power supply voltage                                                                                                            21.6 V to 26.4 VDC (including ripple)

                                Current consumption                                                                                                                                                              0.5 A max.

                                Ambient temperature                                                                                                             Operating: 0 to 50°C, Storage: 0 to 60°C (with no icing or condensation)

                                Ambient humidity                                                                                                                Operating and storage: 35% to 85% (with no condensation)

                                Materials                                                                                                                                              Case: Polycarbonate (PC)

                                Weight                                                                                                                          Approx. 280 g (excluding packing materials and accessories)

                                Accessories                                                                Ferrite core (1), instruction sheet for Data Storage Unit: CSV File Converter for Data Storage Unit/Smart Analyzer Macro Edition

                                ∗1. Control Link Units are required to connect Controllers.

                            26
                                                                                                                                                                                              Smart Sensor

                                                                                                                                                                                                                                 Advanced technology is carried

Dimensions

Sensor Controllers                                                                                 Multi-Controllers                                                                          Data Storage           Units

ZS-HLDC@1/LDC@1                                                                                    ZS-MDC@1                                                                                   ZS-DSU@1

                                         23.20

52.50                       60                                4.61                                 52.50                      60                                                                        59.85               4.7         4.8

                                                                                                                                                                                                        52.50                    60

                                                                                                                                                                                                  5.2

                                                                                                                                                                                              11

                 90                                                                                                90                                                                                                90                                                                              Specifications

       4.30                        3.90                10.80                                                 4.30                    3.90         10.80                                                        4.30                     3.90         10.80                                           Ratings and

                            13 10                      Heat-resistive vinyl chloride, 5.2 mm dia.                             13 10               Heat-resistive vinyl chloride, 5.2 mm dia.                                     13 10               Heat-resistive vinyl chloride, 5.2 mm dia.

                                                       Standard length: 2 m                                                                       Standard length: 2 m                                                                               Standard length: 2 m

                 24.20             18           32.90                                                              24.20             18    32.90                                                                     24.20              18    32.90

                 11.7 dia.                                                                                         11.7 dia.                                                                                         11.7 dia.

                                                                                                                                                                                                                                                                                                 27
                                Dimensions

                                Sensor        Heads                                                                                                                                                                                               Sensor Heads                                                                          Reference  surface

                                ZS-HLDS2T                                                                                                                                                                                                         ZS-HLDS5T/HLDS10                                          18

                                                                                                                                                                                                                        (Unit: mm)                                                                                                      36                                                  (Unit:  mm)

                                Receiver                                                                                                                                                                                                                                                             Optical

                                              Reference                                                                                                                                                                                                                                              axis

                                              surface                                                                             Two, 4.5 mm dia.

                                26.4                                                                                              mounting holes                                                                                                                                                     L (See note.)                80

                                                             Reception            20                     65                                            Operation indicators                                                                                                                                                       72

                                          12                 axis

                                                                                      4                  57                                                                                                                                                                  Emission axis                          4             70               Operation     indicators

                                                       Measuring                                                                                                       4                            57±0.1                  Two,    M4                        22.7

                                                       center                                                                                                                                                                                                                Measuring                                       9.5                                       8

                                                                                                                                  4                                                                                                                                          center                                                                                                70±0.1

                                                                                                                                                                                                                                                                                                     25     16.4                        25                                   (15)  9.5±0.1               Three,  M4

                                                             32                                                                                                                 20                                                                                  13 dia.   Reception

                                                                                                                                                                                                 Mounting hole  dimensions                                                    axis                                                                                           9.5

                                                       56.5                                      25°                                                                                                                                              92.1                               A° (See note.)                                         100             82

                                                                                                                                         65                                                                                                             46          Emitter                                                                                                                              69±0.1

                                                                                           25°                                                                                  6.5                                                                                                         Reference surface                           69

                                                                                                                                                                                                                                                                    Receiver                Three, 4.5 mm dia.

                                                                                                                                     20                                                                                                                                                     mounting holes

                                                             Emission axis                                                                                                                                                                                                                                                                                  (5)

                                                                                           18.1                  20                                                                                                                                                                                                    16.9       45.1                                             Mounting hole dimensions

                                              Emitter  Reference surface

                                                                                                                                                                                                                                                                                        Vinyl insulated round cable, 6.8 mm dia.                                 30.1

                                                                           Vinyl insulated round cable, 6.8 mm dia.                                                                  30.1                                                                                               Standard length: 0.5 m and 2 m

                                                                           Standard length: 0.5 m and 2 m

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   42

Ratings and Specifications                                                                                                                                             42                                                                                     Note: L = 50 and A = 30° for the ZS-HLDS5T.

                                                                                                                                                                                                                                                                    L = 100 and A = 25° for the ZS-HLDS10.

                                Sensor Heads

                                ZS-HLDS60/HLDS150                                                        Optical axis                                                                                                                             (Unit: mm)

                                                                                                                                                              38

                                                                                                                          19

                                                                                                                                                   Reference  surface

                                                                                                      L (See note.)                                75

                                                                     Receiver                                                     5                65                           Operation indicators

                                                                           22.7                                                          28            47                                        8

                                                                                                                                                                                                      9.5

                                                                                                 Reception axis

                                                                     46                                                                                                                                                             65±0.1  Three, M4

                                                             115.06                              Measuring                                                                      102

                                                                                                 center                                                                120

                                                                                                             Emission axis                                    45                                      88.75     45±0.1

                                                                                                                 Reference

                                                                                                                 surface

                                                                                                         A° (See note.)     16.4                              25                (5)

                                                                                                                                                                                                                        Mounting hole dimensions

                                                             13      dia.         Emitter                                                    57        2

                                                                                           Vinyl insulated round cable, 6.8 mm               dia.                                          30.1

                                                                                           Standard length: 0.5 m and 2 m

                                                                           Note:  L = 600 and A = 7° for the ZS-HLDS60.                                                     42

                                                                                  L = 1500 and A = 3° for the ZS-HLDS150.

                            28
                                                                                                                                                                                                                                                                               Smart                                                             Sensor

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                           Advanced technology is carried

Dimensions

Sensor Heads                                                                                                                                                                                                                                                                                         115

                                                                                                                  105±0.3

ZS-LD10GT                                                                                                                  8.5                                                                                    ZS-LD15GT                                                                                      8.5

                                                                                                                                                                                                                                                                                                 48

                                                                                                                                                                                                    (Unit:   mm)                                                                                 40                    42                                                            (Unit: mm)

                                                                                                                 30                  42                                                                                                                                                          30

                                                                                                                 15                                                                                                                                                                              25

                                                                                                                                                Connector                                                                                                                                        20                        Connector

                                                                                                                                                                                                                                                                                                 12

                                                                                                                     30                                                                                                                                                                                     45

                            Vinyl insulated round cable, 6.2 mm dia.                                    30                                                                                                                                                                                                  35

                            Standard length: 0.5 m and 2 m                                                                                                                                                                                                                                                                      Vinyl insulated round cable, 6.2 mm dia.

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                Standard length: 0.5 m and 2 m

                                                            55±0.3                                                                                                 85±0.3                                                                            84       74

                                                                    45                                                                                         56                                                                                                 55

                                                                        25      17.50  12.50                                                 12.50  17.50  25                                                                                                         44                                                      29                     44

                                                                                              10 10                                                                                                                                                                        24  16.5                                                        16.5  24

                                                                    Reference                                              90°               Three, 4.5        mm          dia.    mounting holes                                                                              11.5                                           5      11.5
                                         96±0.1                                                                                                                                                                                                                                      15                                    Two, C14
                                                                    surface

                                                    26±0.1                                                                                                                                                                                                        Reference

                                                            Emission axis                                                  Reception axis                                                                                                                         surface                                        90°

                                                            Measuring                                                                                                                                                                      30±0.1                 Emission axis                             Reception           Four, 4.5 mm dia. mounting holes

                                                            center                                   40±0.25                                                                                                                                                                                 45             axis

                                                                                                                                                                                                                                                                         Measuring                                              Four, 8 mm dia. countersunk, depth: 4

                                         76±0.1  Three, M4                                                                                                                                                                                                 4.50          center

                                 46±0.1                                 26±0.3                                                       36±0.3                                                                                        29±0.1            Four, M

                                                                                16     4                                                                                                                                           20±0.1                                  30                                              40                                                                        Specifications

                                                                                                                                                                                                                                                                               20

                          Mounting hole dimensions                                                                Emitter  Receiver

                                                                                                                                                                                                                                   Mounting hole dimensions                          8                    Emitter     Receiver

Sensor Heads                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                         and

ZS-LD50/LD50S/LD80/LD130/LD200/LD350S                                                                                                                                                                             ZS-HLDS2VT/LD20T/LD20ST/LD40T                                                                                                                                                      Ratings

    15.3                                                                                                    Two,  4.5 mm   dia. mounting  holes                                                     (Unit:   mm)                                                                                     Two, 4.5 mm      dia. mounting  holes                                           (Unit: mm)

           35               L (See note.)                           65                                                     4                                                                                                 35                      L (See note.)                       65                                4

                 Measur-                                                               8                    4.5                                                                                                       15.30                                                                      8          4.5

                 ing                                                                                 8                                                                                      56±0.1                                                                                                   8                                                                       56±0.1

11               center         Reference                                                                                                                                                                                          Measur-            Reference

                                surface                                                                                                                                                                                            ing                surface

                                                                                                                                          27.1                                                                    30               center                                                                                                  27.1

                 Emitter                                                                                45                                                                                                                                                                                              45

                      Emission                                                                              56   65                                                        56±0.1                                                                                                                           56   65                                         56±0.1

                      axis                                                                                                                                                                                                         Emitter

                                                                                                                                             Range                                                                                         Emission                                                                                              Range

                      Reception                                                                                                              indicator                             Two, M4                                                 axis                                                                                                  indicator          Two, M4

                                                                                                     8                                                                                                                                                                                               8

                      axis                                                                                                                                                                                                                 Reception

                                                 8                                                                                                                                                                                         axis                       8

                 Receiver                                                                                                                                                          Mounting hole dimensions                                Receiver                                                                                                                 Mounting hole dimensions

                 A (See note.)                   4.5                56                                                                                                                                                                                            4.5                    56

                                                 8.5                                                                                                                                                                                       A° (See note.)             8.5

           30.1                                                     42                                                                                                                                                       30.1                                                        42

                            Connector                                                                                                                                                                                                                Connector

                                                                                                     Vinyl insulated round cable, 6.2 mm dia.                                                                                                                                                             Vinyl insulated round cable, 6.2 mm dia.

                 Note: L = 50 and A = 30° for the ZS-LD50/50S.                                       Standard length: 0.5 m and 2 m                                                                                                        Note: L = 25 and A = 34.5° for the ZS-HLDS2VT.                 Standard length: 0.5 m and 2 m

                          L = 80 and A = 15° for the ZS-LD80.                                                                                                                                                                                    L = 20 and A = 45° for the ZS-LD20T/20ST.

                          L = 130 and A = 12° for the ZS-LD130.                                                                                                                                                                                  L = 40 and A = 32° for the ZS-LD40T.

                          L = 200 and A = 8° for the ZS-LD200.

                          L = 350 and A = 5° for the ZS-LD350S.

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                 29
                                Dimensions

                                Realtime Parallel Output                                      Unit                                                          Panel Mount Adapter

                                ZG-RPD@1                                        29.60         10  28.40                                                     ZS-XPM1/XPM2 (Dimensions for Panel Mounting)

                                                                                                              Two  mounting  holes  (Unit: mm)

                                                                                                              7                                                    (60 × n) + 12                                                           13                                                                                                                  (Unit:  mm)

                                                                    8                                                                                                                                                                                                                               Panel  cutout dimensions

                                                                                                                                                                   60 × n                                                                     3

                                                         30                                                        21                                                                                                Panel

                                                             10.25

                                                             15.85                     66.50               15.65

                                                                          9            80                  9                                                                                                                                                                DIN Track

                                                                                       89

                                                                                       98                                                                                                                                122

                                                                                                                                                                                                                     90                                              (140)                                                                                             116±1

                                (14.15)      13  (2.85)             11.5               70

                                                                                                                   (150)

                                                                    55                                                                                                                                                                 Panel

                                                                                                                                                32.90                                                                                                                                                      (60 × n) + 8

                                                                                                                                                                                                                                              (2)  (37.5)

                                                                                                                                                                                          Panel Mount Adapter

                                                                             6                                                                                                                                                                     (See note.)                                             n: Number of gang-mounted  Controllers  (1  to 11)

                                         30                                            35.20                                                                                                                                  Note:  Dimensions    are shown for  a  panel  thickness of  2.0  mm.

Ratings and Specifications      Digital Equalizer                                                                                                                                      Mounting bracket

                                ZS-XEQ

                                                                                                                                                                                               25.5               3

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                       (Unit:  mm)

                                                                                                                                                                                                         4.5

                                                                                                                                                                                  +1°  0                                           22

                                                                                                                                       33                                         15°     4.5                                          37

                                                                                                                                                                           +1°    0

                                                                                                                                                                                  15°

                                                                                                                   70                                                                                    43                   5.5

                                                                                                                                                                                                              54

                                                                                                                                                                                                         43                   5.5

                                                                                                                                                                                                         4.5

                                                                                                                                                                                  +1°  0                                                           90°±1°

                                                                                                                                                                                  15°     4.5

                                                                                       33                                                                                  +1°    0                                                    37

                                                                                11.50                                                                       16.50                 15°                                              22

                                                                                                  Two, M4                           3           10.50 dia.         Three,         R2.25

                                                                                                    21                 37

                            30
                                                                                                                                                                                  Smart Sensor

                                                                                                                                                                                                                    Advanced technology is carried

Safety Precautions for Using Laser Equipment

                WARNING                                        Laser Label Indications

Do not expose your eyes to the laser radiation                 Attach the following warning

either directly or indirectly (i.e., after reflection          label to the side of the ZS series

from a mirror or shiny surface).                               Sensor Head.

The laser radiation has a high power density

and exposure may result in loss of sight.

READ AND UNDERSTAND THIS DOCUMENT                                                                                                    Please know and observe all prohibitions of use applicable to the products.

Please read and understand this document before using the products. Please consult your OMRON representative if you have             NEVER USE THE PRODUCTS FOR AN APPLICATION INVOLVING SERIOUS RISK TO LIFE OR PROPERTY WITHOUT

any questions or comments.                                                                                                           ENSURING THAT THE SYSTEM AS A WHOLE HAS BEEN DESIGNED TO ADDRESS THE RISKS, AND THAT THE OMRON

WARRANTY                                                                                                                             PRODUCT IS PROPERLY RATED AND INSTALLED FOR THE INTENDED USE WITHIN THE OVERALL EQUIPMENT OR

                                                                                                                                     SYSTEM.

OMRON's exclusive warranty is that the products are free from defects in materials and workmanship for a period of one year

(or other period if specified) from date of sale by OMRON.                                                                           PERFORMANCE DATA

OMRON MAKES NO WARRANTY OR REPRESENTATION, EXPRESS OR IMPLIED, REGARDING NON-INFRINGEMENT,                                           Performance data given in this document is provided as a guide for the user in determining suitability and does not constitute a

MERCHANTABILITY, OR FITNESS FOR PARTICULAR PURPOSE OF THE PRODUCTS. ANY BUYER OR USER                                                warranty. It may represent the result of OMRON's test conditions, and the users must correlate it to actual application

ACKNOWLEDGES THAT THE BUYER OR USER ALONE HAS DETERMINED THAT THE PRODUCTS WILL SUITABLY                                             requirements. Actual performance is subject to the OMRON Warranty and Limitations of Liability.

MEET THE REQUIREMENTS OF THEIR INTENDED USE. OMRON DISCLAIMS ALL OTHER WARRANTIES, EXPRESS OR

IMPLIED.                                                                                                                             CHANGE IN SPECIFICATIONS

                                                                                                                                     Product specifications and accessories may be changed at any time based on improvements and other reasons.

LIMITATIONS OF LIABILITY                                                                                                             It is our practice to change model numbers when published ratings or features are changed, or when significant construction

OMRON SHALL NOT BE RESPONSIBLE FOR SPECIAL, INDIRECT, OR CONSEQUENTIAL DAMAGES, LOSS OF PROFITS                                      changes are made. However, some specifications of the product may be changed without any notice. When in doubt, special

OR COMMERCIAL LOSS IN ANY WAY CONNECTED WITH THE PRODUCTS, WHETHER SUCH CLAIM IS BASED ON                                            model numbers may be assigned to fix or establish key specifications for your application on your request. Please consult with        Ratings and Specifications

CONTRACT, WARRANTY, NEGLIGENCE, OR STRICT LIABILITY.                                                                                 your OMRON representative at any time to confirm actual specifications of purchased products.

In no event shall responsibility of OMRON for any act exceed the individual price of the product on which liability is asserted.

                                                                                                                                     DIMENSIONS AND WEIGHTS

IN NO EVENT SHALL OMRON BE RESPONSIBLE FOR WARRANTY, REPAIR, OR OTHER CLAIMS REGARDING THE                                           Dimensions and weights are nominal and are not to be used for manufacturing purposes, even when tolerances are shown.

PRODUCTS UNLESS OMRON's ANALYSIS CONFIRMS THAT THE PRODUCTS WERE PROPERLY HANDLED, STORED,

INSTALLED, AND MAINTAINED AND NOT SUBJECT TO CONTAMINATION, ABUSE, MISUSE, OR INAPPROPRIATE                                          ERRORS AND OMISSIONS

MODIFICATION OR REPAIR.                                                                                                              The information in this document has been carefully checked and is believed to be accurate; however, no responsibility is

SUITABILITY FOR USE                                                                                                                  assumed for clerical, typographical, or proofreading errors, or omissions.

THE PRODUCTS CONTAINED IN THIS DOCUMENT ARE NOT SAFETY RATED. THEY ARE NOT DESIGNED OR RATED                                         PROGRAMMABLE PRODUCTS

FOR ENSURING SAFETY OF PERSONS, AND SHOULD NOT BE RELIED UPON AS A SAFETY COMPONENT OR                                               OMRON shall not be responsible for the user's programming of a programmable product, or any consequence thereof.

PROTECTIVE DEVICE FOR SUCH PURPOSES. Please refer to separate catalogs for OMRON's safety rated products.

OMRON shall not be responsible for conformity with any standards, codes, or regulations that apply to the combination of             COPYRIGHT AND COPY PERMISSION

products in the customer's application or use of the product.                                                                        This document shall not be copied for sales or promotions without permission.

At the customer's request, OMRON will provide applicable third party certification documents identifying ratings and limitations of  This document is protected by copyright and is intended solely for use in conjunction with the product. Please notify us before

use that apply to the products. This information by itself is not sufficient for a complete determination of the suitability of the  copying or reproducing this document in any manner, for any other purpose. If copying or transmitting this document to another,

products in combination with the end product, machine, system, or other application or use.                                          please copy or transmit it in its entirety.

The following are some examples of applications for which particular attention must be given. This is not intended to be an

exhaustive list of all possible uses of the products, nor is it intended to imply that the uses listed may be suitable for the

products:

• Outdoor use, uses involving potential chemical contamination or electrical interference, or conditions or uses not described in

this document.

• Nuclear energy control systems, combustion systems, railroad systems, aviation systems, medical equipment, amusement

machines, vehicles, safety equipment, and installations subject to separate industry or government regulations.

• Systems, machines, and equipment that could present a risk to life or property.

                                                                                                                                                                                                                                                                       31
                  A Wide Range of Information Support Tools for                                                                                          Production Lines

Handheld Types                                                                                                                                                   Installed Types

                                               USB                                                                                                       Analog

ZR-MDR10 Mobile Data Recorder                                                                                                                                    ZP-C@@ Graphic Data Controller

The ZR-MDR10 connects to a ZS Smart                                                                                                                              The ZP-C@@ Graphic Data Controller is ideal

Sensor via a USB host interface. It lets the                                                                                                                     for connecting to an analog output device

operator easily make optimal sensor settings                                                                                                                     such as a ZS-series Displacement Sensor.

while checking production and sensing                                                                                                                            Touch-panel operation allows the operator to

conditions on the mobile screen.                                                                                                                                 instantly calculate and compare the resulting

                                                                                                                                                                 input signals, and to display them in a

                                                                                                                                                                 numerical or graphic format.

This document provides information mainly for selecting suitable models. Please read the manual carefully for information that the user must

understand and accept before purchase, including information on warranty, limitations of liability, and precautions.

OMRON Corporation             Industrial Automation Company                                   Authorized Distributor:

Tokyo, JAPAN

                  Contact:    www.ia.omron.com

Regional Headquarters

OMRON EUROPE B.V.                              OMRON ELECTRONICS LLC

Sensor Business Unit                           One Commerce Drive Schaumburg,

Carl-Benz-Str. 4, D-71154 Nufringen, Germany   IL 60173-5302 U.S.A.

Tel: (49) 7032-811-0/Fax: (49) 7032-811-199    Tel: (1) 847-843-7900/Fax: (1) 847-843-7787

OMRON ASIA PACIFIC PTE. LTD.                   OMRON (CHINA) CO., LTD.                        © OMRON Corporation 2009  All Rights Reserved.

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Tel: (65) 6835-3011/Fax: (65) 6835-2711        Tel: (86) 21-5037-2222/Fax: (86) 21-5037-2200  Cat. No. E375-E1-02
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