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AFM361

器件型号:AFM361
厂商名称:qualiflow therm (SEMCO Technologies)
厂商官网:http://semco-tech.com/
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器件描述

MFCs & MFMs series

AFM361器件文档内容

                                                                                                                                   Mass flow controllers &
                                                                                                                                                   accessories

                                MFCs & MFMs series

                                Smart solutions to meet your needs

www.qualiflow.com               DeviceNet - Analog - Digital - ModBus communication

     the catalogue D 10-03 V02  MFC  Calibration  &  Retrofit                                                                         support        center

                                Gas systems solutions & manufacturing - Gas accessories

                                Special MFC configuration upon request (metal design...)

                                AFC 50 / AFM 55                                                                                    10sccm
                                                                                                                                    2 5 s-l m
                                The traditional analog Qualiflow Therm AFC 50 and AFM 55 with elastomeric seals and magnetic
                                valve :
                                - Unique fast and reliable horizontal magnetic valve
                                - Low pressure drop option for TEOS SDC, TiCl4, etc... Using Large sensor diameter gives very low
                                pressure drop and defeats contamination and clogging
                                - Perfect flow splitting through special bypass design, giving optimal linearity and accuracy

                                AFC 50D / AFM 55D                                                                                  1 0 s c- c m
                                                                                                                                    25slm
                                The highest performances of digital P.C.B. combined with elastomeric seals on the Qualiflow
                                Therm AFC 50 D and AFM 55 D :
                                - Full potential of digital technology
                                - Low pressure drop option for TEOS SDC, TiCl4, etc..
                                - 100% compatible with analog AFC50

                                AFC 202 / AFM 302                                                                                  3  0  s0c-scl  m
                                                                                                                                   2  5           m
                                For high flow from 30 slm to 250 slm, the traditional analog Qualiflow Therm AFC 202 and AFM
                                302 with elastomeric seals and magnetic valve :
                                - Unique fast and reliable horizontal magnetic valve
                                - Special pressure compensated stainless steel valve for ultra fast flow control
                                - No particle generation or entrapment

                                AFC 202D / AFM 302D                                                                                23500s-sl  m
                                                                                                                                              lm
                                For high flow from 30 slm up to 250 slm, the highest performances of digital P.C.B. combined with
                                elastomeric seals on the Qualiflow Therm AFC 202D and AFM 302D :
                                - Full potential of digital technology
                                - Special pressure compensated stainless steel valve for ultra fast flow control

                                AFC 260 - 261 / AFM 360 - 361                                                                      1 0 s c- c m
                                                                                                                                     5slm
                                The traditional analog Qualiflow Therm AFC 260 & 261 and AFM 360 & 361 with elastomeric             1 0 s-l m
                                seals and reliable thermal valve :                                                                  20slm
                                -Compatible with other MFC
                                -Economic design, simple construction
                                -Possibility to regulate with external readout

                                AFM 10 & 11                                                                                          2 s l- m
                                                                                                                                    60slm
                                A small flow meter designed to replace rotameter whenever an electrical signal of the flow         100slm
                                measurement is required :                                                                          2 0 0 -s l m
                                - Low cost design, simple construction
                                - Small footprint
                                - Accuracy up to 2% F.S.

                                395, rue Louis Lpine - BP7 - 34935 Montpellier - Cedex 9 - France - sales@qualiflow.com - tel# (0)4 67 99 47 47 fax# (0)4 67 99 47 48
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